化学气相沉积方法可以制备传统粉末冶金工艺无法获得的薄壁、小尺寸、特异形状的纯钨产品，具备高纯度、髙致密度、无缺陷、易加工的特点，应用于冶金、化工、电子、国防等领域，如X射线管靶材、火箭喷嘴、发热体、发光电极、高温容器、耐高温、防屏蔽及耐蚀涂层等。